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苏州市嘉洲净化设备有限公司
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中国国家电子级超纯水规格 GB/T11446.1-1997

 指标\级别  EW-Ⅰ  EW-Ⅱ  EW-Ⅲ  EW-Ⅳ
电阻率 MΩ,cm(25℃) 18以上,(95%时间)不低于17 15,(95%时间)不低于13  12.0    0.5   
全硅,最大值,μg/L 2 10 50 1000
>1μm微粒数,最大值,个/mL 0.1 5 10 500
 细菌个数,最大值,个/mL 0.01 0.1 10 100
 铜,最大值,μg/L 0.2 1 2 500
 锌,最大值,μg/L 0.2 1 5 500
 镍,最大值,μg/L 0.1 1 2 500
 钠,最大值,μg/L 0.5 2 5 1000
 钾,最大值,μg/L 0.5 2 5 500
 氯,最大值,μg/L 1 1 10 1000
 硝酸根,最大值,μg/L 1 1 5 500
 磷酸根,最大值,μg/L 1 1 5 500
 硫酸根,最大值,μg/L 1 1 5 500
 总有机酸,最大值,μg/L 20 100 200 1000
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